5)配管长度,气体通过率的考虑

来源：环保114

4)排气种类

3)是否需要导入气体

2)需要的排气时间

1)需要到达的真空度

选择排气泵的方法

安装方向不受限制。

排气速度快。丙烯循环制冷原理。

能达到超高真空(10-11Pa)

原理：利用气体在超低温表面凝结而达到排气效果。hyfra冷冻机e114故障。

构造：冷冻机、液态He。

有一定寿命。

需要和其它初段排气泵组合。分离。

没有运动部分,没有振动。家用小型羊肉切片机。

排气速度大。

原理：大型氟利昂制冷机组。通过加热电阻丝,使Ti升华。因为Ti化学反应活性高、立刻和周围的气体分子反应而生成稳定的化合物。一部分。反应生成的化合物吸附在真空腔内壁上、从而达到降低气压的效果。如果升华后的Ti吸附在较大面积的内壁上、则产生巨大的排气速度。一部分离子进入阴极内部。比如1平方米的面积上吸附Ti原子的话、对氮气而言、可达到升/s的排气速度。在压力较高时(>10-3Pa)、排气速度大大降低。因此需要和其他排气泵组合使用。

构造：小型冷库机组。加热电阻丝、Ti材料(线或球)。

Ti升华泵

真空泵的工作原理图

有一定寿命。

需要和其它初段排气泵组合。离子。

能达到超高真空(10-10Pa)

一部分气体分子也离子化之后向阴极加速,使阴极的Ti被溅射后,一部分离子进入阴极内部。

原理：羊肉切片机。通过溅射现象,使Ti离子化,Ti离子化学反应活性高。和气体分子反应之后生成化合物。阴极。

构造：内部。强磁铁,蜂窝状阳极,钛(Ti)阴极。

真空泵的工作原理图

不用油,工作环境清洁,可到达10-10Pa的真空度。排气速度不受气体种类影响。构造复杂,价格昂贵,高速旋转,要注意安装要求。化工超低温制冷机。有振动。进入。需要和其它初段排气泵组合。冷冻机品牌标志。

原理：每分钟旋转数万次的高速旋转叶片撞击气体分子,被撞击的气体分子碰撞到固定叶片后又被弹到下一个旋转叶片上,最终被送到排气口。旋转叶片和固定叶片的方向相反,使分子难于逆行。这种排气方式,排气速度不因气体种类而变。一部分离子进入阴极内部。

构造：超低温冷冻机组。电机驱动的高速旋转叶片,泵壁上固定的固定叶片。

分子泵(TMP)

真空泵的工作原理图

为了避免油或其它液体进入真空腔内,不用油或其它液体的干式真空泵正在成为主要的旋转式机械泵。大型制冷机组。

排气能力由压缩比决定,可达0.1Pa程度。操作简单。可以从大气压状态下启动。油要蒸发。你知道部分。

原理：冷冻机最低制冷温度。转子紧贴泵壁内侧旋转。固定翼随之下移,转子到达油面后,空气被压缩,压缩后的空气压力高于外界大气压之后从排气口排出。

构造：偏心轴转子,固定翼,油。岛式冷冻柜。旋转动力是电机。

以油封式真空泵为例加以介绍。

旋转式机械泵

曾经被广泛使用的油扩散泵因为存在油气蒸发的问题、现在已经很少被采用。

5：低温泵

4：Ti升华泵

3：离子泵

2：分子泵(TMP)

1：旋转式机械泵

代表的真空泵

要求从密封容器中高速高效地排除气体，